多功能真空校准装置

为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要，研制了多功能真空校准装置。该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准，同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。装置选用静态比对法、动态比对法、质谱比对法设计建成，真空校准范围为1.33×105 Pa～1×10-4 Pa，真空漏孔校准范围为5×10-5～5×10-9 Pa·m3/s，装置智能化水平高，操作简便，适合真空规管的批量校准。
　　随着我国空间科学技术的发展，真空测量技术也得到长足进步，已广泛应用在航空航天、电气电子、石油化工等行业。特别是我国载人飞船、登月工程、火星探测等一系列国防新领域的飞速发展，对真空测量提出了更高的要求，相应的高精度、高可靠性的真空计量校准需求也应运而生。

　　传统的实验室真空校准装置大多系统设计复杂，研制费用高，校准耗时长，无法满足航天器研制任务的需要。本文研制了一套多功能真空校准装置，该装置选用静态比对法、动态比对法以及质谱比对法的校准原理研制而成，通过设计不同量程的电容薄膜规组成标准规组的方法，解决了单一标准规在满量程范围内精度偏差的问题。装置具有操作简易，自动化程度高，可批量校准等特点，装置校准范围既覆盖了航天领域主要真空校准需求，又具有研制成本低，综合性价比高的优点。